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國(guó)產(chǎn)替代自主研發(fā)微小氣體流量計(jì)MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

自主研發(fā)氣體質(zhì)量流量計(jì)流量傳感器采用氣體流過(guò)外熱源加熱的毛細(xì)管時(shí)產(chǎn)生的溫度場(chǎng)變化 來(lái)測(cè)量氣體質(zhì)量流量，通過(guò)電橋?qū)囟葓?chǎng)的變化轉(zhuǎn)化為電信號(hào)并經(jīng)過(guò)電 路放大、濾波處理，處理后的信號(hào)采集進(jìn)處理器芯片，再通過(guò)氣體流量 外標(biāo)法和溫壓補(bǔ)償?shù)玫綔?zhǔn)確的真實(shí)氣體流量值。

國(guó)產(chǎn)替代氣體質(zhì)量流量計(jì)MFC300 產(chǎn)品采用單電源供電(15~40VDC)；可模擬 量和數(shù)字通訊（CAN、RS485、RS232）顯示和控制氣體流 量，可以直接跟本公司的 MFC 控制器配合使用，也可以 直接連電腦通訊，并通過(guò)數(shù)字通訊改變控制流量或通訊 設(shè)置；也可以連二次儀表顯示；具有多氣體測(cè)量，高精 度，高穩(wěn)定性，極低零漂特性。

愛(ài)拓利自主研發(fā)氣體質(zhì)量流量計(jì)MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。 被測(cè)氣體進(jìn)入后，先通過(guò)傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng)，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

數(shù)顯氣體質(zhì)量流量計(jì)MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。

高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)MFCMFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)