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國(guó)產(chǎn)替代氣體質(zhì)量流量控制器MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

熱式氣體流量計(jì)-平替進(jìn)口同類產(chǎn)品MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

自主研發(fā)平替進(jìn)口氣體質(zhì)量流量控制器MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

國(guó)產(chǎn)替代自主研發(fā)氣體質(zhì)量流量計(jì)其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

自主研發(fā)氣體質(zhì)量流量控制器我公司自主研發(fā)的 MFC330 氣體質(zhì)量流量控制器（以下簡(jiǎn)稱 MFC330），主要用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確測(cè)量和控制。

平臺(tái)Alicat氣體質(zhì)量流量計(jì)MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。